光刻机什么原理,光刻机基本原理?

提到光刻机,想必首先想到的就是来自荷兰的高端芯片光刻机,至于光刻机的工作原理,与冲洗照片十分类似。需要通过光刻机的紫外线,然后去除晶圆体表面的保护膜,然后将此前设计好的精密线路,再通过紫外线刻在晶圆体之上。可是这件事却属于听起来容易办起来难,因为光刻机性能的不同,所以导致芯片的纳米等级也不同。

目前全球光刻机制造的芯片,可以分为5至7纳米、7至28纳米、28至65纳米、65至90纳米等级别。而且随着全球科技不断发展,芯片对于各个国家有着十分重要的作用。因为无论是航天领域、民航客机,还是汽车、手机等领域,对于芯片的需求量一直比较大。那么为何全球拥有数十个发达国家,只有荷兰能制造高端光刻机,连美国都只能“心甘情愿”充当辅助和配角?说到光刻机最初的发展,还追溯到上个世纪60至70年代左右。当时美国研发的光刻机,可是全球顶尖存在。当然这和当时的光刻机工作原理比较简单,也有一定的关系。

那个时候的光刻机,就是通过光把电路图掩膜,涂刷在光敏胶的晶圆体之上,当时的晶圆体大小为一英寸左右。到了80年代之后,日本半导体产业在美国扶持下,也开始走向“巅峰”,甚至从最初需要美国帮助,直接成为超越后者,在半导体产业出口量领先全球。到了1984年,荷兰光刻厂成立之后,由于美日在半导体领域的地位无人能撼动,所以当时的阿斯麦公司不过是以接收一些小订单为主。到了1997年,美国半导体巨头英特尔与美国能源部组建EUV前沿技术组织,因此让摩托罗拉、AMD脱颖而出。

随后阿斯麦及时抓住机遇,成功在美国建厂。可是为了得到美国的承认,阿斯麦研发的产品中必须有55%的原材料,是从美国供货商手中拿货。此后阿斯麦便在光刻机领域迅速崛起,并且随着时间的沉淀,在高端光刻机领域已经做到了无人可及。

这就导致如今阿斯麦研发的光刻机,重量达到180吨,售价更是高达1.2亿美元左右。除此之外,即便购买到阿斯麦研发的EUV光刻机,但是还需要该公司专业人员对设备进行调试,时间长达一年。当然在阿斯麦研发的光刻机中,美国光源占据27%、荷兰与英国占据32%、日本与德国也占据一定的比例。不难看出,美国在光刻机领域,早已无法与阿斯麦相提并论,因此只能选择在幕后“打辅助”。这与美国制造业衰退,有着密切关联。

(文/华强)

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